摘 要:为提高氮化硅悬浮液的稳定性以制备均匀致密的氮化硅涂层,本文对氮化硅粉在1130℃空气条件下高温煅烧3h。通过对比煅烧前后氮化硅重量差异,理论计算了氮化硅的氧含量,结合SEM和EDS测试方法,研究了煅烧前后氮(试读)...