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我国科研团队完成一种新型光刻胶技术初步验证-河南科技2024年07期

我国科研团队完成一种新型光刻胶技术初步验证

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科技日报2024年4月2日报道,从华中科技大学获悉,该校与湖北九峰山实验室组成联合研究团队,突破“双非离子型光酸协同增强响应的化学放大光刻胶”技术。相关成果于2024年2月15日发表在国际期刊《化学工程杂志》上。

(试读)...

河南科技

2024年第07期